原标题：电子薄膜材料表面电阻率测试方案
概述：
某一维线性尺度远远小于它的其它二维尺度的材料成为薄膜材料，理论上薄膜材料厚度介于单原子到几毫米，但由于厚度小于100nm的薄膜已经被称为二维材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米至毫米的薄金属或有机物层。
薄膜材料可以分为非电子薄膜材料和电子薄膜材料，非电子薄膜材料不需要对其电学特性进行分析，不是本方案针对的对象，电子薄膜又可分为导电薄膜，半导体薄膜，介质薄膜，电阻薄膜，磁性薄膜，压电薄膜，光电薄膜，热电薄膜，超导薄膜等，表面电阻率是电子薄膜电学性质的重要参数。
电子薄膜材料表面电阻率测试
表面电阻率测试常用方法是四探针法与范德堡法，但对电子薄膜材料，范德堡法很少应用。多数情况下，电子薄膜材料表面电阻率测试对测试仪器的要求没有二维材料/石墨烯材料高，用源表加探针台即可手动或编写软件自动完成测试。
电子薄膜材料电阻率测试面临的挑战
电子薄膜种类多，电阻率特性不同
需要选择适合的SMU进行测试
被测样品形状复杂，需选择适当的修正参数
厚度修正系数对测试结果的影响F(W/S)
圆片直径修正系数对测试结果的影响
温度修正系数对测试结果的影响
环境对测试结果有影响
利用多次平均提高测试精度
需要考虑测试成本
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泰克吉时利电子薄膜材料测试方案
1.通用配置
a.2450/2460/2461
b.四探针台（间距1mm）
c.测试软件（第三方）
2.高阻电子薄膜材料测试方案
a.6221/2182A+6514*2+DMM6500
b.第三方探针台
c.手动或软件编程
方案优势
1.不同配置满足不同电子薄膜材料电阻率测试需求
2.高精度SMU,即可手动测试，也可以编程自动测试
3.高性价比
安泰测试作为泰克吉时利长期合作伙伴，专业提供设备选型和测试方案，且为西安多家企业和院校提供吉时利源表现场演示，并获得客户的高度认可，如果您想了解更多测试应用方案，欢迎访问安泰测试网www.agitek.com.cn返回搜狐，查看更多
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